WEKO3
Item
超伝導量子ビット集積化に向けた積層型微小接合作製プロセス
https://aist.repo.nii.ac.jp/records/2001928
https://aist.repo.nii.ac.jp/records/2001928cb47c968-12a3-43a7-8005-bdf8963cfd0a
| Item type | Research Data (v9)(1) | |||||||||||||||
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| PubDate | 2014-01-01 | |||||||||||||||
| Data name | ||||||||||||||||
| Title | 超伝導量子ビット集積化に向けた積層型微小接合作製プロセス | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Description of data | ||||||||||||||||
| Description Type | Abstract | |||||||||||||||
| Description | 実用的規模の量子計算機の実現を目指して，超伝導量子ビットのスケーラブルな集積化を可能とする微小ジョセフソン接合の作製プロセスを研究している．多層配線構造と微小面積接合を両立する化学機械研磨（CMP）平坦化を用いた積層型Al/AlOx/Al接合作製技術を開発した．アルミニウムの機械的・化学的脆弱性を考慮して作製プロセスを最適化した結果，100 nmオーダーの微小接合の作製に成功した． | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Author (Creator) name |
前澤 正明
× 前澤 正明
× 佐藤 哲朗
× 埜口 良二
× 山岸 雅司
× 日高 睦夫
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| Access Rights | ||||||||||||||||
| Access Rights | open access | |||||||||||||||
| Access Rights URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||||
| APC | ||||||||||||||||
| APC | Not required | |||||||||||||||
| Rights Holder | ||||||||||||||||
| Right Holder Name | 前澤 正明 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Publisher | ||||||||||||||||
| Publisher | 電子情報通信学会 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Date | ||||||||||||||||
| Date | 2014-01-01 | |||||||||||||||
| Date Type | Issued | |||||||||||||||
| Language | ||||||||||||||||
| Language | jpn | |||||||||||||||
| Resource Type | ||||||||||||||||
| Resource Type Identifier | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||
| Resource Type | journal article | |||||||||||||||
| Relation | ||||||||||||||||
| Relation Type | isVersionOf | |||||||||||||||
| Identifier Type | URI | |||||||||||||||
| Related Identifier | http://ci.nii.ac.jp/naid/110009822134 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Related Title | 関連 URI | |||||||||||||||
| Source Title | ||||||||||||||||
| Source Title | 電子情報通信学会技術研究報告 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Volume Number | ||||||||||||||||
| Volume | 113 | |||||||||||||||
| Issue Number | ||||||||||||||||
| Issue | 401 | |||||||||||||||
| Page Start | ||||||||||||||||
| Start Page | 129 | |||||||||||||||
| Page End | ||||||||||||||||
| End Page | 134 | |||||||||||||||
