WEKO3
Item
ミニマルマイクロプラズマエッチングプロセス
https://aist.repo.nii.ac.jp/records/2001858
https://aist.repo.nii.ac.jp/records/2001858b2215e0c-dcdc-4d3e-b635-dbc0caa083b8
| Item type | Research Data (v9)(1) | |||||||||||||||
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| PubDate | 2014-01-01 | |||||||||||||||
| Data name | ||||||||||||||||
| Title | ミニマルマイクロプラズマエッチングプロセス | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Description of data | ||||||||||||||||
| Description Type | Abstract | |||||||||||||||
| Description | これまでの半導体製造プロセスでは本格的に用いられることが無かった「マイクロプラズマ」を適用したドライエッチングプロセスについて、ミニマルファブ構想での研究開発に至った着眼点や試作機の構成、実際のエッチングプロセスなどについて紹介した。 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Author (Creator) name |
清水 禎樹
× 清水 禎樹
× 中野 禅
× 小木曽 久人
× Khumpuang Sommawan
× 原 史朗
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| Access Rights | ||||||||||||||||
| Access Rights | open access | |||||||||||||||
| Access Rights URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||||
| APC | ||||||||||||||||
| APC | Not required | |||||||||||||||
| Rights Holder | ||||||||||||||||
| Right Holder Name | 清水 禎樹 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Publisher | ||||||||||||||||
| Publisher | 日本工業出版Ｋ．Ｋ． | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Date | ||||||||||||||||
| Date | 2014-01-01 | |||||||||||||||
| Date Type | Issued | |||||||||||||||
| Language | ||||||||||||||||
| Language | jpn | |||||||||||||||
| Resource Type | ||||||||||||||||
| Resource Type Identifier | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||
| Resource Type | journal article | |||||||||||||||
| Source Title | ||||||||||||||||
| Source Title | クリーンテクノロジー | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Volume Number | ||||||||||||||||
| Volume | 24 | |||||||||||||||
| Issue Number | ||||||||||||||||
| Issue | 12 | |||||||||||||||
| Page Start | ||||||||||||||||
| Start Page | 40 | |||||||||||||||
| Page End | ||||||||||||||||
| End Page | 43 | |||||||||||||||
