WEKO3
Item
シリコンフォトニクスデバイスのウエハレベルプロービング
https://aist.repo.nii.ac.jp/records/2001825
https://aist.repo.nii.ac.jp/records/2001825ec75ff01-058e-4edc-bed5-3e66c45e3cb1
| Item type | Research Data (v9)(1) | |||||||||||||||
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| PubDate | 2014-01-01 | |||||||||||||||
| Data name | ||||||||||||||||
| Title | シリコンフォトニクスデバイスのウエハレベルプロービング | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Description of data | ||||||||||||||||
| Description Type | Abstract | |||||||||||||||
| Description | 光デバイス評価によるプロセスモニタリング確立を目的としてウエハレベルプロービングの検討を行った結果を報告する。 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Author (Creator) name |
堀川 剛
× 堀川 剛
× 志村 大輔
× 椎名 明美
× 木下 啓藏
× 最上 徹
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| Access Rights | ||||||||||||||||
| Access Rights | open access | |||||||||||||||
| Access Rights URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||||
| APC | ||||||||||||||||
| APC | Not required | |||||||||||||||
| Rights Holder | ||||||||||||||||
| Right Holder Name | 堀川 剛 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Publisher | ||||||||||||||||
| Publisher | ナノテスティング学会 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Date | ||||||||||||||||
| Date | 2014-01-01 | |||||||||||||||
| Date Type | Issued | |||||||||||||||
| Language | ||||||||||||||||
| Language | jpn | |||||||||||||||
| Resource Type | ||||||||||||||||
| Resource Type Identifier | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||
| Resource Type | journal article | |||||||||||||||
| Source Title | ||||||||||||||||
| Source Title | 第34回ナノテスティングシンポジウム(NANOTS34)会議録 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Page Start | ||||||||||||||||
| Start Page | 87 | |||||||||||||||
| Page End | ||||||||||||||||
| End Page | 92 | |||||||||||||||
