WEKO3
Item
3Dレーザーリソグラフィを用いた繊維状基材用フォトマスクの開発
https://aist.repo.nii.ac.jp/records/2001768
https://aist.repo.nii.ac.jp/records/2001768d50fc0cb-1ba5-4175-aa6d-6ce00928ce74
| Item type | Research Data (v9)(1) | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PubDate | 2014-01-01 | |||||||||||||||
| Data name | ||||||||||||||||
| Title | 3Dレーザーリソグラフィを用いた繊維状基材用フォトマスクの開発 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Description of data | ||||||||||||||||
| Description Type | Abstract | |||||||||||||||
| Description | In this paper, we present a new technology for forming half-pipe masks with fine patterns in order to prepare micro devices on fiber-like substrates directly. Half-pipes substrates are successfully fabricated by using tiny quartz capillaries with the outer diameter of 900 m and inner diameter of 330 um. | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Author (Creator) name |
二階堂 景
× 二階堂 景
× 林 政寛
× 張 毅
× 松本 壮平
× 早瀬 仁則
|
|||||||||||||||
| Access Rights | ||||||||||||||||
| Access Rights | open access | |||||||||||||||
| Access Rights URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||||
| APC | ||||||||||||||||
| APC | Not required | |||||||||||||||
| Rights Holder | ||||||||||||||||
| Right Holder Name | 二階堂 景 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Publisher | ||||||||||||||||
| Publisher | 日本機械学会 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Date | ||||||||||||||||
| Date | 2014-01-01 | |||||||||||||||
| Date Type | Issued | |||||||||||||||
| Language | ||||||||||||||||
| Language | jpn | |||||||||||||||
| Resource Type | ||||||||||||||||
| Resource Type Identifier | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||
| Resource Type | journal article | |||||||||||||||
| Relation | ||||||||||||||||
| Relation Type | isVersionOf | |||||||||||||||
| Identifier Type | URI | |||||||||||||||
| Related Identifier | http://ci.nii.ac.jp/naid/110009944108 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Related Title | 関連 URI | |||||||||||||||
| Source Title | ||||||||||||||||
| Source Title | 日本機械学会 2014 年度年次大会論文集 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Page Start | ||||||||||||||||
| Start Page | J2240101 | |||||||||||||||
