WEKO3
Item
繊維状基材マイクロデバイス製造のための円筒露光プロセスの開発
https://aist.repo.nii.ac.jp/records/2001759
https://aist.repo.nii.ac.jp/records/20017599e5e2083-e643-4a7c-9bc7-88da84d83921
| Item type | Research Data (v9)(1) | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PubDate | 2014-01-01 | |||||||||||||||
| Data name | ||||||||||||||||
| Title | 繊維状基材マイクロデバイス製造のための円筒露光プロセスの開発 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Description of data | ||||||||||||||||
| Description Type | Abstract | |||||||||||||||
| Description | 本研究では、我々が開発を行った微小円筒基材円筒面へ微細パターン形成するための円筒露光装置および同装置を用いて試作を行ったデバイスについて報告する | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Author (Creator) name |
林 政寛
× 林 政寛
× 張 毅
× 早瀬 仁則
× 伊藤 寿浩
× 前田 龍太郎
|
|||||||||||||||
| Access Rights | ||||||||||||||||
| Access Rights | open access | |||||||||||||||
| Access Rights URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||||
| APC | ||||||||||||||||
| APC | Not required | |||||||||||||||
| Rights Holder | ||||||||||||||||
| Right Holder Name | 林 政寛 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Publisher | ||||||||||||||||
| Publisher | IEEJ | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Date | ||||||||||||||||
| Date | 2014-01-01 | |||||||||||||||
| Date Type | Issued | |||||||||||||||
| Language | ||||||||||||||||
| Language | jpn | |||||||||||||||
| Resource Type | ||||||||||||||||
| Resource Type Identifier | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||
| Resource Type | journal article | |||||||||||||||
| Relation | ||||||||||||||||
| Relation Type | isVersionOf | |||||||||||||||
| Identifier Type | URI | |||||||||||||||
| Related Identifier | http://ci.nii.ac.jp/naid/40020266744 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Related Title | 関連 URI | |||||||||||||||
| Source Title | ||||||||||||||||
| Source Title | 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Page Start | ||||||||||||||||
| Start Page | 20pm3_ps21 | |||||||||||||||
