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Item
三次元構造物への任意のパターニングおよび３Ｄフォトマスクの開発
https://aist.repo.nii.ac.jp/records/2001757
https://aist.repo.nii.ac.jp/records/20017578001f897-9574-4304-a6fd-70d28985868d
| Item type | Research Data (v9)(1) | |||||||||||||||
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| PubDate | 2014-01-01 | |||||||||||||||
| Data name | ||||||||||||||||
| Title | 三次元構造物への任意のパターニングおよび３Ｄフォトマスクの開発 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Description of data | ||||||||||||||||
| Description Type | Abstract | |||||||||||||||
| Description | 本論文では、二光子吸収現象を利用した3Dレーザー・リソグラフィ・システムを用いて、三次元構造物表面へ任意の金属膜パターンを形成するプロセスを提案する。さらにこの手法により製作した、繊維状基材の円筒面への3Dマスク投影リソグラフィに使用する、微細パターンを有する3Dフォトマスクの製作結果について報告する。3Dフォトマスクの製作プロセスは、まずパターンを形成しようとする表面付近をフォトレジストでみたし、3Dレーザー・リソグラフィによりレジストパターンの形成を行う。その後、スパッタリングによるクロム膜の成膜およびリフトオフによって金属膜パターンが形成される。このプロセスにより任意の金属膜パターンを三次元構造物表面に形成できることを確認した。 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Author (Creator) name |
林 政寛
× 林 政寛
× 張 毅
× 高木 秀樹
× 伊藤 寿浩
× 前田 龍太郎
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| Access Rights | ||||||||||||||||
| Access Rights | open access | |||||||||||||||
| Access Rights URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||||||||
| APC | ||||||||||||||||
| APC | Not required | |||||||||||||||
| Rights Holder | ||||||||||||||||
| Right Holder Name | 林 政寛 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Publisher | ||||||||||||||||
| Publisher | IEEJ | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Date | ||||||||||||||||
| Date | 2014-01-01 | |||||||||||||||
| Date Type | Issued | |||||||||||||||
| Language | ||||||||||||||||
| Language | jpn | |||||||||||||||
| Resource Type | ||||||||||||||||
| Resource Type Identifier | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||
| Resource Type | journal article | |||||||||||||||
| Identifier | ||||||||||||||||
| Identifier | 10.5104/jiep.17.436 | |||||||||||||||
| Identifier Type | DOI | |||||||||||||||
| Relation | ||||||||||||||||
| Relation Type | isVersionOf | |||||||||||||||
| Identifier Type | URI | |||||||||||||||
| Related Identifier | https://www.jstage.jst.go.jp/article/jiep/17/5/17_436/_article/-char/ja/ | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Related Title | 関連 URI | |||||||||||||||
| Source Title | ||||||||||||||||
| Source Title | エレクトロニクス実装学会誌 | |||||||||||||||
| Language | ja | |||||||||||||||
| Volume Number | ||||||||||||||||
| Volume | 17 | |||||||||||||||
| Issue Number | ||||||||||||||||
| Issue | 5 | |||||||||||||||
| Page Start | ||||||||||||||||
| Start Page | 435 | |||||||||||||||
| Page End | ||||||||||||||||
| End Page | 441 | |||||||||||||||
